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三氯氫硅生產過程中，原料硅粉中往往含有鋁、鐵、鈣等雜質，在與氯化氫氣體高溫反應時生成氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬氯化物，三氯氫硅廢渣的處理系統(tǒng)，包括真空耙式干燥機、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循環(huán)泵、酸吸收罐和合成液儲罐，真空耙式干燥機的抽真空氣相出口依次連接水冷凝器、冷凝液出口連接收集罐，液相出口和水冷凝器的冷凝液出口連接合成液儲罐，真空耙式干燥機的蒸發(fā)氣相出口連接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通過酸循環(huán)泵分別連接酸吸收罐液相入口和淋洗。充分回收廢渣中的有用材料，提高經濟效益，減少環(huán)境污染。

(I)真空耙式干燥機系臥式間歇傳導干燥設備，借助于中心軸上的耙葉，定時間隔正反向轉動，在耙葉的不斷攪拌下，物料與筒壁接觸時，表面不斷更新，且受到導熱油間接加熱，使物料內濕份不斷汽化，同時被真空泵及時抽出。在真空度的作用下，濕份沸點降低，物料表面濕份蒸汽壓遠大于機內蒸發(fā)空間的濕份蒸汽壓有利于其內部濕份蒸發(fā)，促進了干燥，從而達到干燥的目的。

(2)由于金屬氧化物AlCl3的特殊性質，在標準大氣壓下，177.8°C升華。同理在真空狀態(tài)下，隨著AlCl3飽和蒸汽壓的降低，較低溫度下就有升華的可能，這樣就很容易導致后序管道中AlCl3氣體的凝固，堵塞管道。為滿足工藝要求，往往在前期進料時，加入一定量的絡合劑，該絡合劑使得物料被抽真空時，金屬氯化鋁不易被蒸出，待在真空度下氯硅烷被蒸出后，再升溫蒸出氯化鋁，減少環(huán)境污染。